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显影液废水处理方法

摘要

本发明公开了一种显影液废水处理方法及系统,涉及化工废液处理领域,主要为了解决现有技术中采用好氧生化工艺将TMAH分解转化为氨氮存在的一些问题;本发明采用厌氧生化工艺处理含高浓度TMAH的反渗透浓水,解决了采用A/O生化工艺处理显影液废水时存在的耐受进水TMAH浓度低、TMAH处理负荷低、TMAH对硝化细菌活性有抑制、剩余污泥产量大等问题;采用本发明的方法处理显影液废水,还具有水力停留时间短、占地面积小、曝气能耗低、剩余污泥产量小等优点。

权利要求书

1.一种显影液废水处理方法,其特征在于,包括以下步骤:

1)PH调节

在显影液废水中加入酸溶液,调节PH至7.5-8.5;

2)混凝沉淀

2-1)完成PH值调节后,在显影液废水中加入混凝剂,使析出的光刻胶凝聚为絮体;

2-2)然后再加入絮凝剂,使光刻胶絮体抱团,提高絮体的密实度;

2-3)静置沉淀1-2h,沉淀污泥排入工厂废水站污泥脱水系统处理,沉淀上清液待进一步处理;

3)超滤处理

通过超滤膜截留去除上清液中的颗粒状和胶体态杂质,得到超滤出水;

4)反渗透处理

对超滤出水进行反渗透处理,由反渗透膜截留显影液废水中的TMAH并对废水进行脱盐,其中,反渗透产水用于工厂循环冷却水补水或杂用水,富集了高浓度TMAH的反渗透浓水待后续步骤处理;

5)厌氧生化处理

对反渗透浓水进行厌氧生化处理,在厌氧微生物作用下,反渗透浓水中的TMAH分解转化为氨氮和甲烷气。

2.根据权利要求1所述的显影液废水处理方法,其特征在于,所述步骤1)中使用的酸溶液为盐酸或者硫酸。

3.根据权利要求2所述的显影液废水处理方法,其特征在于,所述步骤2-3)中的沉淀工艺可由气浮工艺代替,气浮浮渣排入工厂废水站脱水系统处理,对应的,步骤4)中反渗透处理的对象为气浮出水。

4.根据权利要求3所述的显影液废水处理方法,其特征在于,所述步骤4)中反渗透系统回收率为75%-80%,反渗透膜通量为18-22L/m2·h,反渗透进水pH值为6.5-8,采用上述工艺参数,使得TMAH的截留率 99%。

5.根据权利要求4所述的显影液废水处理方法,其特征在于,所述步骤5)包括:

5-1)在厌氧生化进水中投加碳酸钠、碳酸氢钠或氢氧化钠,控制厌氧反应出水pH值为6.8-7.2;

5-2)在厌氧生化进水中投加磷酸盐,投加浓度为10mg/L;

5-3)在厌氧生化反应器内投加钙盐,投加浓度为40mg/L;

5-4)在厌氧生化反应器内投加微量元素药液,投加比例按1m3厌氧生化进水投加1-2 L微量元素药液,其中微量元素药液组成为:0.8mg/L氯化钴,0.8mg/L氯化镍,0.8mg/L硫酸亚铁。

6.根据权利要求5所述的显影液废水处理方法,其特征在于,所述步骤5)中厌氧生化容积负荷为4-8 kg TMAH/m3·d,厌氧生化反应温度为35-38℃。

7.一种显影液废水处理系统,其特征在于,包括:

PH调节模块,用于在显影液废水中加入酸溶液,调节PH至7.5-8.5;

混凝沉淀模块,用于对显影液废水进行混凝沉淀处理,以去除显影液废水中经pH调节后析出的不溶态的光刻胶;

超滤处理模块,用于通过超滤膜截留去除上清液中的颗粒状和胶体态杂质,得到超滤出水;

反渗透处理模块,用于对超滤出水进行反渗透处理,由反渗透膜截留显影液废水中的TMAH并对废水进行脱盐;

厌氧生化处理模块,用于对反渗透浓水进行厌氧生化处理,在厌氧微生物作用下,反渗透浓水中的TMAH分解转化为氨氮和甲烷气。